各有关单元：
为加快推动安徽省原子级造作产业造就和创新发展，我厅在深刻调研和征求有关方定见的基础上，钻研草拟了《安徽省原子级造作创新发展行动规划（2026—2030年）（征求定见稿）》，现向社会公开征求定见。
这次公开征求定见的起止功夫为2026年7月21日至2026年8月20日。如有定见建议，请填写《征求定见反馈信息表》，在规按功夫内通过电子邮件反馈至wuyilian @ahjxw.gov.cn。邮件主题请注明“关于原子级造作创新发展行动规划的定见建议”。
附件：1.安徽省原子级造作创新发展行动规划（2026—2030年）（征求定见稿）
2.《安徽省原子级造作创新发展行动规划（2026—2030年）（征求定见稿）》草拟情况注明
安徽省工业和信息化厅
2026年7月21日
附件1
安徽省原子级造作创新发展行动规划（2026—2030年）
（征求定见稿）
原子级造作通过规；疾倏卦，将造作精度或结构推动至原子水平，是赋能产品获得逼近理论极限机能的造作技术。为造就原子级造作产业新赛路，加快形成新质出产力，构建产业发展新优势，助力安徽从“造作大省”向“造作强省”逾越，特造订本行动规划。
一、总体要求
以习近平新时期中国特色社会主义思想为领导，深刻贯彻党的二十大和二十届历次全会心灵，全面贯彻习近平总书记调查安徽沉要讲话心灵，紧扣国度和省“十五五”规划纲领，安身“国度所需、安徽所能”，锚定“三地一区」亟略定位，萦绕全省“1188”现代化产业系统，聚焦集成电路、新型显示、量子信息、前沿资料等沉点领域，两全推动原子级造作基础钻延注设备研发与产业融合等沉点工作，积极构建优良的产业发展生态。力争到2030年，形成特色鲜明的原子级造作技术、设备和产品；主导或参加造订5项以上行业尺度；研造10项以上原子级造作设备或产品；造就形成10种以上可复造、规；蛹对熳鞯湫屠贸【，打造国内当先的原子级造作细分赛路创新高地。
二、沉点工作
（一）强化基础理论钻研
1.发展原子级造作基础理论钻研。萦绕原子级加工、构筑和检测，钻研单原子和原子团簇的可控构筑、原子尺度资料去除和薄膜沉积、原子尺度缺点鉴别和界面结构定量解析等理论与机造；执行原子/分子层面多尺度模仿与物性分析，推动多场耦合原子级界面演化，加强极端工况下资料与器件机能不变性；发展原子级物理AI垂直大模型及利用研发。
（二）突破关键主题技术
2.攻关原子级加工技术。攻关光学元件、新型显示器件、大尺寸超高真空用结构件的原子级抛光技术；攻关存储芯片高选择比原子层刻蚀技术，突破原子级表表齐全性调控等难题，有效提升关键零部件加工质量和极端环境使役机能。
3.攻关原子级构筑技术。攻关单原子、原子团簇等职能资料宏量造备与原子级波谱吸收超结构设计技术，优化原子级负载工艺与不变性；攻关大面积高均匀性原子层沉积技术，突破大尺寸基板多层薄膜堆叠的厚度一致性、界面质量节造难题；攻关量子芯片原子级镀膜封装、AI芯片原子级薄膜可控沉积、集成电路3D GAA工艺高均匀性沉积等关键技术和工艺；攻关固态电池界面原子级调控技术，突破电解质－电极界面不变构筑工艺，提升电池循环寿命与安全性。
4.攻关原子级检测技术。攻关原位原子级缺点检测技术，支持出产过程缺点动态检测与工艺关环优化，推动检测技术向在线原位检测升级；攻关极端环境原子级表征技术，优化强磁场、极低温、超高压、强辐射等极端工况下的原子尺度原位检测步骤，支持高端特衷祺件机能优化；攻关光学元件、新型显示器件等表表原子缺点检测技术。
（三）研发标志性产品
5.开发原子级造作工业软件。开发原子层刻蚀、沉积、退火与掺杂过程动态仿真软件、界面缺点对电性靠得住性仿真软件、原子级抛光过程多物理场仿真软件，支持工艺集成级此外全流程机能预测 ？⒃蛹侗∧そ峁股杓啤⒌ピ佑朐油糯卮呋聊嫦蛏杓啤⒅澳芡糯氐裙ひ丈杓迫砑，支持研发效能跃升 ？⒏叻直娴缇低枷裰悄芗鸬热砑，提升检测设备智能化水平。
6.研发原子级加工设备。研发可控流变原子级抛光机床、原子级复合抛光设备、等离子体、离子束、电子束刻蚀设备等主题工艺设备，攻克原子尺度精密去除、精准描摹调控、超低危险加工等关键技术瓶颈，适配光学元件、先进造程芯片等关键器件原子尺度微缩迭代带来的全新工艺要求。
7.研发原子级构筑设备。研发高效单原子与原子团簇催化资料、团簇职能资料批量合成、高质量二维资料表延成长、高精度原子层沉积、新能源固态电池界面调控等主题工艺设备，实现资料微观描摹、界面个性、职能机能的精密化调控。
8.研发原子级检测设备。研发量子精密丈量、激光过问丈量等检测设备，推动聚焦离子束电子束双束电镜、原子力显微镜、透射电镜、高端质谱仪等设备迭代升级，提升微观检测精度、表征能力与工艺不变性。
9.研发前沿资料及有关设备。研发单原子与原子团簇职能资料、高纯金属与职能粉体资料、新型碳基资料（如石墨烯等）、先进封装与基板资料等前沿资料及其亲昵有关设备。
（四）拓展多元利用场景
10.集成电路。推动高机能抛光介质、高纯先驱体、原子级平坦衬底等供给性资料，率先在先进造程晶圆造作、先进封装等环节利用，缩幼芯片关键特点尺寸，提升芯片集成度、出产良率与工作靠得住性。
11.新型显示。推动原子级平坦基板、超薄玻璃以及玻璃基封装载板等关键基材在高世代LCD、柔性OLED、硅基微显示等产线落地利用；推动原子层沉积在高迁徙率氧化物等造备方面的利用；拓宽超大屏、折叠屏、AR近眼显示产品利用天堑，同步提升器件良率与画面机能。
12.量子丈量。推动原子尺度超高精度检测技术在量子精密丈量领域利用，提升原子级透射电子显微镜高分辨率成像能力，构建量子丈量与原子级造作融合利用标杆场景。
13.深空探测。推动曲面硬脆资料原子级抛光技术在大口径空间光学元件等方面的利用，推动原子级超光滑造作技术在空间激光设备造作方面的利用，有效推进原子级造作成就向深空探测领域转化。
14.大科学装置。依附岳阳大科学装置集群，搭建原子尺度资料机能测试、界面表征公共平台，推动原子团簇资料、新型碳基资料及原子层介电资料等二维资料的研发与工艺验证；索求原子级造作技术在高精度运动节造、自由曲面光学元件加工、聚变工程器件造作、超高真空器件造作等方面的利用，提升关键部件精杜纂靠得住性。
15.其他。推动6N级超高纯铜、石墨烯、碳纳米管、原子级平坦封装基板等在固态电池、生物医药等方面的利用。
（五）构建优良发展生态
16.健全企业梯度造就系统。推动创新资源向原子级造作产业集聚，梯度造就原子级造作领域科技型（创新型）中幼企业、高新技术企业、专精特新“幼巨人”企业、造作业单项冠军企业。沉点招引原子级仿真推算工业软件、物理AI垂直大模型开发、原子级超精密设备与零部件、原子级传感器件、原子级催化资料等细分领域骨干企业。支吃祗业盛开原子级造作利用场景，与设备、检测等高低游企业组建创新结合体。以岳阳高新区、岳阳未来大科学城为主题承载区，布局省原子级造作产业先导区，进一步集聚产业链高低游企业，逐步形成“主题引领、多点协同”的产业空间布局。
17.建设多档次创新平台。阐扬沉点企业整合创新资源优势，支吃祗业结合高校院所组建省级沉点尝试室、技术创新中心、造作业创新中心、产业创新中心等载体。建设检考试证、中试放大等公共服务平台，提供工艺参数优化、量产不变性测试、原子级缺点检测和原子级催化资料量产适配等服务。依附省内沉点科创园区布局孵化平台，提供创业领导、技术支持、市场拓展和投融资等服务。
18.美满尺度与知识产权系统。推动尺度系统建设，激励企业、高校院所和行业协会等萦绕原子级抛光工艺、单原子与原子团簇职能资料构筑造备、集成电路器件原子级检测等方面，发展行业或集体尺度钻研造订，支持有前提的单元主导或参加国度尺度及国际尺度造订。支吃祗业、高校院所布局原子级造作高价值专利，成立原子级造作知识产权急剧审查通路，加快科技成就转化。
19.强化人才引育与盛开合作。支持高校设立原子级造作领域有关专业，造就专业型人才；深入校企合作，建设技术人才造就基地；支持原子级造作领域高档次科技团队来皖创新创业。深入国内国际技术互换与创新合作，加强长三角地域产业合作，筹办高水平专业论坛和展示展览活动，提升我省原子级造作产业影响力。
三、保险措施
省工业和信息化厅牵头两全全省原子级造作产业发展，依附我省未来产业推动机造，集聚产业、科延注金融等多方资源，统指挥若定划产业发展政策、沉点工作与发展蹊径，破解技术攻关、成就转化、产业造就等难题。组建省级原子级造作创新发展联盟；」瘸链罂萍甲ㄏ詈统链蟛迪钅吭谕畈季趾椭葱；落实原子级造作专业领域企业研发用度加计扣除政策，支持申报“三首”产品、标志性产品，加大科技金融等产业创新政策支持力度。省各有关部门按职责协同落实发展行动；各市安身自身天赋，自动挖掘特色利用场景，形成省市联动、错位发展的产业格局。支持优势区域建设产业育新平台，强化身分保险和示范引领，持续优化产业发展生态。
附件2
《安徽省原子级造作创新发展行动规划（2026—2030年）（征求定见稿）》
草拟情况注明
一、政策布景
原子级造作是未来产业发展的沉要领域，省委、省当局高度器沉全省未来产业发展，为进一步抢抓发展先机、强化全方位布局，推动我省原子级造作产业实现高起点开局、高质量发展，凭据工业和信息化部工作部署，在进建借鉴国度有关政策规划和兄弟省市先进经验做法基础上，宽泛发展专题调研和座谈互换，听取有关单元、企业和专家的定见建议，假造了《安徽省原子级造作创新发展行动规划（2026—2030年）（征求定见稿）》。
二、重要内容
《行动规划》蕴含总体要求、沉点工作、保险措施三大部门。
（一）总体要求
明确以习近平新时期中国特色社会主义思想为领导，深刻贯彻党的二十大和二十届历次全会心灵，全面贯彻习近平总书记调查安徽沉要讲话心灵，聚焦集成电路、新型显示、量子信息、前沿资料等沉点领域，两全推动原子级造作基础钻延注设备研发与产业融合等沉点工作，积极构建优良的产业发展生态。提出工作指标，力争到2030年，形成特色鲜明的原子级造作技术、设备和产品；主导或参加造订5项以上行业尺度；研造10项以上原子级造作设备或产品；造就形成10种以上可复造、规；蛹对熳鞯湫屠贸【，打造国内当先的原子级造作细分赛路创新高地。
（二）沉点工作
《行动规划》萦绕产业造就发展关键环节，系统提出5方面19条沉点行动。
第一方面，强化基础理论钻研。钻研单原子和原子团簇的可控构筑、原子尺度资料去除和薄膜沉积、原子尺度缺点鉴别和界面结构定量解析等理论与机造；执行原子/分子层面多尺度模仿与物性分析；发展原子级物理AI垂直大模型及利用研发。
第二方面，突破关键主题技术。一是攻关原子级加工技术。攻关光学元件、新型显示器件、大尺寸超高真空用结构件的原子级抛光技术；攻关存储芯片高选择比原子层刻蚀技术等。二是攻关原子级构筑技术。攻关单原子、原子团簇等职能资料宏量造备与原子级波谱吸收超结构设计技术；攻关大面积高均匀性原子层沉积技术等。三是攻关原子级检测技术。攻关原位原子级缺点检测技术；攻关极端环境原子级表征技术；攻关光学元件、新型显示器件等表表的原子缺点检测技术等。
第三方面，研发标志性产品。一是原子级造作工业软件。开发原子层刻蚀、沉积、退火与掺杂过程动态仿真软件等；开发原子级薄膜结构设计软件；开发高分辨电镜图像智能鉴别等软件等。二是研发原子级加工设备。研发可控流变原子级抛光机床、原子级复合抛光设备、等离子体、离子束、电子束刻蚀设备等主题工艺设备等。三是研发原子级构筑设备。研发高效单原子与原子团簇催化资料、团簇职能资料批量合成、高质量二维资料表延成长、高精度原子层沉积、新能源固态电池界面调控等主题工艺设备等。四是研发原子级检测设备。研发量子精密丈量、激光过问丈量等检测设备等。五是研发前沿资料及有关设备。研发单原子与原子团簇职能资料、高纯金属与职能粉体资料、新型碳基资料（如石墨烯等）、先进封装与基板资料等前沿资料及其亲昵有关设备等。
第四方面，拓展多元利用场景。集成电路方面，推动高机能抛光介质、高纯先驱体、原子级平坦衬底等供给性资料在先进造程晶圆造作、先进封装等环节利用。新型显示方面，推动原子级平坦基板、超薄玻璃以及玻璃基封装载板等关键基材在高世代LCD、柔性OLED、硅基微显示等产线落地利用等。量子丈量方面，推动原子尺度超高精度检测技术在量子精密丈量领域利用等。深空探测方面，推动曲面硬脆资料原子级抛光技术在大口径空间光学元件等方面的利用等。大科学装置方面，搭建原子尺度资料机能测试、界面表征公共平台，推动原子团簇资料、新型碳基资料及原子层介电资料等二维资料的研发与工艺验证等。其他方面，推动6N级超高纯铜、石墨烯、碳纳米管、原子级平坦封装基板等在固态电池、生物医药等方面的利用等。
第五方面，构建优良发展生态。一是健全企业梯度造就系统。梯度造就原子级造作领域科技型（创新型）中幼企业、高新技术企业、专精特新“幼巨人”企业、造作业单项冠军企业等。布局省原子级造作产业先导区。二是建设多档次创新平台。支吃祗业结合高校院所组建省级沉点尝试室、技术创新中心、造作业创新中心、产业创新中心等载体。三是美满尺度与知识产权系统。萦绕原子级抛光工艺、单原子与原子团簇职能资料构筑造备、集成电路器件原子级检测等方面，发展行业或集体尺度钻研造订。成立原子级造作知识产权急剧审查通路等。四是强化人才引育与盛开合作。支持高校设立原子级造作领域有关专业，造就专业型人才；筹办高水平专业论坛和展示展览活动等。
（三）保险措施
从未来产业发展推动机造提出省工业和信息化厅作为原子级造作产业发展牵头两全单元；组建省级原子级造作创新发展联盟；积极争取国度沉大科技专项和沉大产业项目在皖布局和执行；支持申报“三首”产品、标志性产品，加大科技金融等产业创新政策支持力度等。
